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产品介绍

郑州磨料磨具磨削研究所有限公司开发的DiaCentre-6K-D 碟形腔式MPCVD系统，是生产大尺寸、高品质单晶/多晶金刚石的高性能专用装备。该设备采用碟形腔设计，是目前国内大规模应用的碟形腔式方案，经300余台设备批量应用验证表明，具有成熟、可靠性高、批量一致性好、腔体易清洁操作、可避免石英刻蚀污染、等离子体覆盖面积大的突出特点。
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DiaCentre-6K-D 碟形腔式 标准机配置清单

NO.1  微波系统 (标配进口6KW微波电源)
微波频率  2.45GHz
微波输出功率  最大6kw，连续调节
功率波动性  ≤±10w
三销钉调谐器  手动三销钉
微波泄漏  微波泄漏<<0.5mw/cm²@5cm
参数监控  拥有完善的微波电源状态监控系统：输出功率、 反射功率、水温、水流量、湿度、内部和环境温度、高压监控等
NO.2  反应腔及生长基台
反应腔类型  碟形腔式，实现更大的沉积面积与良好的等离子体均匀性
观察窗口 (测温窗口)  7个观察窗(其中1个用于测温)
生长基台直径  水冷式
钼台直径  建议Φ50mm-70mm，根据客户工艺变化
钼台/生长基台间压力调控  自动压力控制，调节范围5Torr~腔压，该功能旨在调控晶种片生长温度
NO.3 控制系统
集成化全自动生长控制系统，品牌主机，高度的稳定性与可靠性，全面的数据监控系统及历史数据回溯功能，多重联锁保护与故障报警功能，工艺配方加密功能

 
NO.4  真空系统
工作压力范围  工作压力范围10~220Torr，自动压力控制
真空泵  24m³/h（50Hz） 高抽速，双级旋片式真空泵（标配安全阀防逆流）
系统真空漏率  ＜5x10-¹⁰Pa*m³/s （氨质谱检漏仪测试）
极限真空度  <0.5Pa(标配双级旋片式真空泵) ，选配分子泵可达7×10-³ Pa
NO.5  气路系统
标配五路进口MFC，预留拓展1路
进口半导体级气路管道、阀门、控制系统
NO.6  测温仪
高精度光纤式红外测温仪：450~1400 摄氏度
NO.7  供电、冷却系统
腔体、微波头、微波电源、沉积台等累计冷却水流量≥22L/Min； 供水水压0.5~0.6Mpa；水温20~25°C；实现所有水路的水流量、温度实时监测
供电要求：AC 400V±10%，三相五线制，50Hz
功耗：满功率工况，整机功耗约10.8Kw
NO.8  系统尺寸
电气柜: 1m(长) x 0.7m（宽）x 2.1m（高）、腔体柜：0.9m(长) x 1m（宽）x 1.5m(高)

 

 

可选配置

更多路气体质量流量控制系统

干泵、分子泵系统

进口红外测温仪

定制化需求

应用领域

金刚石材料是目前已知的最坚硬的物质，同时以其优异的光、电、热、声等方面的 优异性能，被誉为“材料之王”，是21世纪最有潜力的材料之一。

实现金刚石功能化应用已成为航空航天探测器、新一代半导体材料、特种光学、核工业电子器件、高功率器件、高性能 电极、传感器等国家重点工程发展的必然需求，具有广阔的应用前景与市场潜力，被列为我国战略性新兴产业。

珠宝首饰应用

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电化学应用

光学应用

热学应用

超精密加工应用

半导体应用

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三磨所金刚石产品

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大尺寸cvd单晶金刚石

实验室培育钻石

超高导热金刚石

光学级金刚石

硼掺杂金刚石电极

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技术支持

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