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陶瓷吸盘
陶瓷吸盘具有平面度、平行度高，组织致密均匀，强度高，透气性好，吸附力均匀，易于修整等特点，应用于2、3、4、5、6、8、12 英寸半导体片加工。
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- 商品名称: 陶瓷吸盘
陶瓷吸盘具有平面度、平行度高，组织致密均匀，强度高，透气性好，吸附力均匀，易于修整等特点，应用于2、3、4、5、6、8、12 英寸半导体片加工。<br>
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广泛应用于硅、蓝宝石、砷化镓等半导体晶圆的制造环节，根据加工工序不同，主要分为倒角用陶瓷吸盘、划片用陶瓷吸盘、减薄用陶瓷吸盘及检测用陶瓷吸盘。
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吸盘产品生产全流程工艺可靠、质量稳定，实现了产品在不同工况下优良的应用性能，有效解决了晶圆印痕、芯片静电击穿、Particle污染等诸多难题，在实际应用中实现了半导体晶圆片极高的加工品质，突破了国外厂商的技术垄断，成功实现了国产替代，具有良好的产品性能和市场口碑。
倒角用陶瓷吸盘，耐磨损、刚性好、吸附力强；
划片用陶瓷吸盘，精度高、吸附力均匀、切割品质好；
减薄用陶瓷吸盘，高比刚度、热膨胀低、使用寿命长；
检测用陶瓷吸盘，区域吸附力强、吸光性能好、抗静电性能优异。
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
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