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陶瓷载盘/陶瓷抛光盘
陶瓷载盘具有高平面精度、高形貌精度、高使用寿命的特性，产品生产全流程工艺可靠、质量稳定，实现了产品在不同工况下优良的服役性能，有效解决了电极压伤、裂盘、耐腐蚀能力差等诸多难题，在实际应用中实现了半导体晶圆材料良好的CMP抛光品质，突破了国外厂商的技术垄断，成功实现了国产替代。
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- 商品名称: 陶瓷载盘/陶瓷抛光盘
陶瓷载盘具有高平面精度、高形貌精度、高使用寿命的特性，产品生产全流程工艺可靠、质量稳定，实现了产品在不同工况下优良的服役性能，有效解决了电极压伤、裂盘、耐腐蚀能力差等诸多难题，在实际应用中实现了半导体晶圆材料良好的CMP抛光品质，突破了国外厂商的技术垄断，成功实现了国产替代。<br>
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主要用于LED 衬底及半导体晶圆（蓝宝石片、碳化硅片、硅片、锗片、砷化镓片、氮化镓片等）及其他材料晶圆及窗口片的减薄、硬抛及CMP 抛光制程。
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我公司可按照客户的定制化需求提供陶瓷载盘产品，直径范围：Φ5~800mm，陶瓷载盘厚度：1~200mm， 平面度：0.001~0.002mm，并且可以根据客户的要求进行设计和制造各种非标陶瓷载盘。
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
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