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精密陶瓷件
精密陶瓷部件材料采用高纯超细粉体经过高温烧制，并经过精密加工而成，可以和日本、德国、美国、韩国及国内的相关设备进行配套使用，并且具有优越的性价比。
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- 商品名称: 精密陶瓷件
精密陶瓷部件材料采用高纯超细粉体经过高温烧制，并经过精密加工而成，可以和日本、德国、美国、韩国及国内的相关设备进行配套使用，并且具有优越的性价比。<br>
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应用于LED 晶圆芯片的外延层薄膜材料（GaN、SiO2 等）的ICP 刻蚀制程、半导体扩散用精密陶瓷零件及半导体晶圆的MOCVD 外延制程，以及封装测试、真空、晶圆加工等环节。
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刻蚀陶瓷环具有硬度高、耐磨损、精度保持性好、耐等离子体轰击等特点，高纯高性能工程陶瓷材料能够很好的解决新一代刻蚀技术中等离子体腐蚀、微粒产生、金属污染和氧气分解等问题。根据用户需求，可设计和制造各种标准及非标准的陶瓷环产品。
刻蚀用托盘采用高纯无压烧结碳化硅陶瓷材料，具有硬度高，耐腐蚀、耐磨损，使用寿命长等特点，并且产品精度高、晶圆外延层刻蚀均匀性好。我公司可按照客户的需求提供相应陶瓷托盘产品，直径范围：Φ50~500mm。托盘盘厚度：3~20mm，并且可以根据客户的要求进行设计和制造各种非标产品。
陶瓷手臂与金属机械手臂相比具有耐磨、耐腐蚀、耐高温膨胀变形及使用寿命长等优点。金属机械手臂相比具有耐磨、耐腐蚀、耐高温膨胀变形及使用寿命长等优点。
陶瓷修整环具有硬度高，精度高，形状保持性好，无需修整、寿命长等特点。特别适用于晶圆或芯片等精度要求高的产品的研磨抛光制程，能够实现对研磨盘的在线高精修整和对研磨液的均匀分散。
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
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